股票代碼:603396

產品特點

1.程序控制精確,設備運行穩定

2.自動更換石英舟,提高產能,降低勞動強度

3.機臺防腐設計,提高使用壽命和可靠性

4.花籃傳動可暫存3個花籃,降低人員勞動強度

5.整機采用SMC,三菱,神視等進口元件

6.采用特制陶瓷吸盤取放片

7.可選方阻檢測

8.可選MES和遠程診斷




技術參數

擴散上下料機

JC.GF004

產能

10000pcs/h5000 load,5000 unload

石英舟規格

200/400/600/800/1000 ,Pitch 4.76mm/2.38mm

硅片尺寸

156mm*156mm

上料方式

50/100 Cassette

下料方式

50/100 Cassette

碎片率

0.5%

設備尺寸(長×寬×高)

L3700*W2700mm*H2100mm

開機率

98%

耗電量

1Ph ,220VAC,50Hz, 8kW, 36A

耗氣量

30L/min

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