股票代碼:603396

產品特點

1.程序控制精確,設備運行穩定

2.自動更換石墨舟,提高產能,降低勞動強度

3.機臺防腐蝕設計,提高使用壽命和可靠性

4.花籃傳動可暫存3個花籃,降低人員勞動強度

5.整機采用SMC,三菱,神視等進口元件

6.采用特制吸盤,stuabile機器人

7.可選色差檢測

8.可選MES和遠程診斷




技術參數

管式PECVD上下料機

JC.GF005

產能

8000pcs/h4000 load,4000 unload

石墨舟規格

294PC ,Pitch 13.5mm,(Customizable)

硅片尺寸

156mm*156mm

上料方式

100 Cassettestack /25/50/100 Optional

下料方式

100 Cassettestack/25/50/100 Optional

碎片率

0.3%

設備尺寸(長×寬×高)

L5684*W1840mm*H2135mm

開機率

98%

耗電量

3Ph,380VAC ,2KW,10A,1Ph ,220VAC,50Hz, 12KW, 50A

耗氣量

30L/min

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