股票代碼:603396

產品特點

1.程序控制精確,設備運行穩定

2.自動更換石墨框,提高產能,降低勞動強度

3.機臺防腐設計,提高使用壽命和高可靠性

4.花籃傳動可暫存3個花籃,降低人員勞動強度

5.整機采用SMC,三菱,神視等進口元件

6.采用伯努力利吸盤,保證低碎片率

7.可選色差檢測

8.可選MES和遠程診斷




技術參數

板式PECVD上下料機

JC.GF006

產能

6000pcs/h3000 load,3000 unload

上料方式

100 Cassettestack /25/50/100 Optional

下料方式

100 Cassettestack/25/50/100 Optional

硅片厚度

0.16mm

硅片寬度

156mm*156mm

碎片率

0.05%

開機率

98%

設備尺寸(長×寬×高)

L4020*W3560mm*H1900mm

操作高度

1000mm±25mm

碳框尺寸

8*10 (5*5,5*6,8*10,9*10 Opitoinal)

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