產品特點
1.程序控制精確,設備運行穩定
2.自動更換石墨框,提高產能,降低勞動強度
3.機臺防腐設計,提高使用壽命和高可靠性
4.花籃傳動可暫存3個花籃,降低人員勞動強度
5.整機采用SMC,三菱,神視等進口元件
6.采用伯努力利吸盤,保證低碎片率
7.可選色差檢測
8.可選MES和遠程診斷
技術參數
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板式PECVD上下料機 |
JC.GF006 |
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產能 |
6000pcs/h（3000 load，3000 unload） |
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上料方式 |
100 Cassette（stack /25/50/100 Optional） |
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下料方式 |
100 Cassette（stack/25/50/100 Optional） |
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硅片厚度 |
≥0.16mm |
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硅片寬度 |
156mm*156mm |
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碎片率 |
≤0.05% |
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開機率 |
≥98% |
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設備尺寸(長×寬×高) |
L4020*W3560mm*H1900mm |
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操作高度 |
1000mm±25mm |
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碳框尺寸 |
8*10 (5*5,5*6,8*10,9*10 Opitoinal) |
